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国产0.8微米工艺集成电路生产线，与其说是为了振兴国家的电子产业，不如说是为了解决有无问题。 ( 平南)

在没有市场需求的前提下，仅凭借科研院所和国防工程的订单，中科院微电子中心根本吃不饱。为了开发0.8微米工艺的技术，国家历时三年时间投入了五个亿的资金，才最终完成了整套设备的研发。但向国内供应的设备价格，最贵的光刻机也不过才百万人民币而已。

这条生产线不仅仅是需要解决光刻机的问题，像是等离子刻蚀、气象沉淀设备，这些都是核心设备。此外像是扩散炉、离子源，挑片、举片机，焊接机、镀膜机、清洗机，一块不起眼的集成电路如果想走下生产线，起码要经过上百道工序，历时十几、几十个小时不可。

这还只是芯片生产的前道工序，若是再算上封装、测试等后道工序，设备清单能再增加几倍的长度。

这些哪怕全部都是国产设备，建设一条集成电路生产线，也至少需要十几亿人民币。

在这样高的投入和稀薄的产出面前，中科院微电子中心的生意可想而知。哪怕是面对他们认为“大言不惭”的泛翰研究院，只要拿出真金白银来，产品也一样是照卖不误。

从1995年上半年0.8微米工艺技术定型，实际上中科院微电子中心最大的买家，就是泛翰研究院。周硕前前后后下了三条生产线，价值将近一个亿的订单。结果搬空了微电子中心的仓库，也不过才凑齐了一条半生产线而已。至于三条线全部配齐，起码也要到1996年了。

但作为国家研究机构，微电子中心仍然是该卖设备卖设备。该骂你一样骂你。没办法，谁叫人家是国内最权威的半导体研发机构。如果从级别上来看，说它是中国半导体学界的武林盟主也不为过……

当然哪怕只是一条生产线，若是日本尼康的产品月产量也能达到三万片。若是荷兰阿斯麦的产品。月产量五万片也毫无问题。但国内技术不论是良品率还是自动化程度。都远远不及这两家。尤其是0.8微米工艺基础上仓促改造而来的0.5微米工艺生产线，良品率更是在原本就不高的产量上跌了一大截。

“周桑。nand闪存的生产相关工艺就是如此了。虽然你们的设备要比我们东芝的差一些，但完成生产流程是没有问题的。”中村晴树翻看了一下相关设备的参数设计，肯定的说道。

东芝虽然不怎么看得上这样的小生意，但多少秉持着日本人的谨慎性格。还是派来了一个靠谱的技术人员。在中村晴树的指导下，集成电路设计方案直接使用了东芝的技术，掩膜、光刻和扩散、沉降等技术参数经过不断的调试，也都已经准备就绪。

在中村晴树认可之后，周硕也有些兴奋的向光刻机前的麻友公点了点头。

麻友公操作着设备，将已经抛光和清洗完毕的晶圆，放入到光刻机中。接下来的工作。就不再是需要人为干预的了。

何况蜂巢实验室作为泛翰研究院的核心实验室，也不方便让中村晴树一个日本人呆太久，周硕连忙将他送了出去。

十三个小时之后，完成了八十三道工序的晶圆。经过最后一次清洗终于完成了它的加工历程，安静的躺在了实验台上。

此时，蜂巢实验室的十四位研究员全部聚集一堂，都围拢在负责测试用的测频仪前面。就像cpu在出厂之前，需要先进行测试一样。芯片在制造过程中，总是难免会出现各种各样的问题，导致一些残次品或者缺陷。这时候，就要通过测频确定它们的质量。

有缺陷的芯片被制造成低频的cpu，通过逻辑屏蔽掉一部分功能，作为低端产品进行出售。而没有缺陷的cpu则以完整的功能，作为高端产品进行出售。所以才会有一些cpu产品通过开核，来获得更好、但更不稳定的性能。

和cpu检测一样，nand内存在封装之前，也需要对其进行测试。不仅要获得其具体的性能数据，也要通过产品的缺陷推导制造工艺存在的问题。

一张的晶圆上，这时表面上已经布满了流光溢彩的花纹。这是通过气象沉淀，附着在晶圆上面的有色金属。这张晶圆上面密密麻麻的分布着30块芯片所需要的集成电路，通过对它们的测试，将可以得到这条0.5微米工艺生产线运作的具体数据。